021-57712303 / 021-57712166
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样，因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样，因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿...
超纯高流量减压阀 PRH
PRH系列超纯高流量减压阀采用单级膜片式硬密封设计，超低漏率，内部EP电解抛光处理，超低内表面粗糙度。高压输入（最高可达3500Psi），低压输出时满足高流量的要求。适用于半导体行业使用的高纯度气体。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。
材料
阀体：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
阀座：PCTFE/PI
膜片、提升阀芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用温度PCTFE: -40~80℃
PI: -26~177℃
阀体内漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He
阀体外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He
阀座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He
内表面粗糙度
BA级：Ra≤10μin（0.25μm）
EP级：Ra≤5μin （0.13μm）
安装方式：后座安装、面板安装
最大进口压力: 标准及高流量款HF 1700psi (117bar)、应力补偿款FC 300psig (21bar)、 高压款HR 3500psi（241Bar）
出口压力: 1-150psi（详见选型表）
验证压力：工作压力的150％
爆破压力：工作压力的300％
|
规格 |
1/4” |
3/8”“ |
1/2” |
3/4” |
|
CV值（流量系数） |
0.65（应力补偿FC）、0.9（标准）、0.15（高流量HF） |
|||
|
内部容积 |
1.07in3 (17.6 cm3 ) |
|||
供压效应：标准款3.5%,、高流量款HF和应力补偿款FC:4.2%
流量曲线：
端口配置：
连接选择：VCR公头、VCR母头、对焊管接头
尺寸仅供参考, 实物可能会变动。
编码
进口压力
出口压力
两端接头
A(mm)
B(mm)
PRH3004M/F
真空-1700psi (117bar)
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH6004M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH10004M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH15004M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH3006M/F
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH6006M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH10006M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH15006M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH3008M/F
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH6008M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH10008M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH15008M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH3012M/F
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH6012M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH10012M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH15012M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH3004M/F-HF
真空-1700psi (117bar)
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH6004M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH10004M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH15004M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH3006M/F-HF
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH6006M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH10006M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH15006M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH3008M/F-HF
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH6008M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH10008M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH15008M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH3012M/F-HF
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH6012M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH10012M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH15012M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH10004M/F-FC
真空-300psi (21bar)
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH15004M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH10006M/F-FC
2-100psi (0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH15006M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH10008M/F-FC
2-100psi (0.14-7.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH15008M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH10012M/F-FC
2-100psi (0.14-7.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH15012M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH10004M/F-HR
真空-3500psi (241bar)
2-100psi (0.14-7.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH15004M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母头
55
102/94
PRH10006M/F-HR
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH15006M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母头
64
133
PRH10008M/F-HR
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH15008M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公/母头
64
133
PRH10012M/F-HR
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
PRH15012M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母头
64
159
多孔端口，请在编码后加孔数+PW；本款同时可提供对焊连接(具体型号请联系存简)
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