超纯中低流量单级减压阀 PRLI2023年07月21日PRLI系列超纯低流量单级减压阀采用单级膜片式硬密封设计,超低漏率,内部EP电解抛光处理,超低内表面粗糙度。高压输入(最高可达3500Psi),低压标准流量输出,输出压力稳定,适用于半导体行业使用的高纯度气体。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。
超纯低流量单级减压阀 PRL2023年07月21日PRL系列超纯低流量单级减压阀采用单级膜片式硬密封设计,超低漏率,内部EP电解抛光处理,超低内表面粗糙度。适用于半导体行业使用的高纯度气体,具有卓越的重复性,稳定性及灵敏度。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。
超纯高流量减压阀 PRH2023年07月21日PRH系列超纯高流量减压阀采用单级膜片式硬密封设计,超低漏率,内部EP电解抛光处理,超低内表面粗糙度。高压输入(最高可达3500Psi),低压输出时满足高流量的要求。适用于半导体行业使用的高纯度气体。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。
不锈钢高纯过滤器 FVSC2023年07月21日FVSC系列不锈钢高纯过滤器采用高温烧结滤芯,适用于高纯液体、气体过滤使用,最小过滤精度可达0.1μm。外形设计小巧,轻量,结构紧凑,可用于半导体行业空间要求极高的气路洁净处理。
超纯低压气动隔膜阀 DLP2023年07月21日DLP系列超纯低压气动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体低压工况下的输送,产品在采用紧凑设计的同时,实现高CV值。在高标准的洁净室内生产,EP电解抛光处理内表面,粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试,从而保障应用安全性。
超纯低压手动隔膜阀 DLM2023年07月21日DLM系列超纯低压手动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体低压工况下的输送,产品在采用紧凑设计的同时,实现高CV值。在高标准的洁净室内生产,EP电解抛光处理内表面,粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试,从而保障应用安全性。
超纯高压气动隔膜阀 DHP2023年07月21日DHP系列超纯高压气动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体高压工况下的输送,产品在采用紧凑设计的同时,实现高CV值。在高标准的洁净室内生产,EP电解抛光处理内表面,粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试,从而保障应用安全性。
超纯高压手动隔膜阀 DHM2023年07月21日DHM系列超纯高压手动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体高压工况下的输送,产品在采用紧凑设计的同时,实现高CV值。在高标准的洁净室内生产,EP电解抛光处理内表面,粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试,从而保障应用安全性。
两联三通气动隔膜阀 DBP2023年07月21日DBP系列联通隔膜阀,是将两个DLP或DHP系列超纯隔膜阀(两联)合二为一的阀门,通过共用配管流路,最大限度缩小了死区,同时保持优异的脱气特性。联通隔膜阀既继承了原型阀门的基本性能,通过同类或异类的组合,还能因此设计出更紧凑的配管系统,极大得节省了空间。
两联三通手动隔膜阀 DBM2023年07月21日DBM系列联通隔膜阀,是将两个LDM或HDM系列超纯隔膜阀(两联)合二为一的阀门,通过共用配管流路,最大限度缩小了死区,同时保持优异的脱气特性。联通隔膜阀既继承了原型阀门的基本性能,通过同类或异类的组合,还能因此设计出更紧凑的配管系统,极大得节省了空间。
不锈钢单向阀 CVS2023年07月21日CVS系列不锈钢单向阀固定开启压力,多种开启压力可选,阀体采用高品质SS316L材质,内表面可选择EP电解抛光,高洁净处理,脱脂+精密清洗,出厂前每个都会进行单独的氦质谱泄漏测试。
PTFE水枪 DIG2023年07月06日PTFE水枪 DIG设计用于高纯半导体应用,作为半导体清洗设备的配件被广泛使用。设计采用一体化PTFE喷枪本体,搭配其他耐温耐腐蚀的塑料配件,可以使纯水最大程度远离金属离子。PTFE材质的本体,还可以免受其他介质的腐蚀困扰,同时它以小巧的外形设计、轻便的材质应用,在半导体清洗应用中显得极为适配。
VCR三通接头 VCTU2023年06月02日同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样,因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿命等特性,被广泛应用于半导体制造、太阳能、核能、LED、TFT-LCD、石油化工、生物医药制造等领域。
VCR四通接头 VCCU2023年06月02日同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样,因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿命等特性,被广泛应用于半导体制造、太阳能、核能、LED、TFT-LCD、石油化工、生物医药制造等领域。
卡套转VCR螺母接头 TVFC2023年06月02日同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样,因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿命等特性,被广泛应用于半导体制造、太阳能、核能、LED、TFT-LCD、石油化工、生物医药制造等领域。