021-57712303 / 021-57712166
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样，因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样，因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿...
超纯中低流量单级减压阀 PRLI
PRLI系列超纯低流量单级减压阀采用单级膜片式硬密封设计，超低漏率，内部EP电解抛光处理，超低内表面粗糙度。高压输入（最高可达3500Psi），低压标准流量输出，输出压力稳定，适用于半导体行业使用的高纯度气体。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。
材料
阀体：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
阀座：PCTFE/PI
膜片、提升阀芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用温度
PCTFE: -40~80°C
PI: -26~177℃
阀体内漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He
阀体外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He
阀座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He
内表面粗糙度
BA级：Ra≤10μin（0.25μm）
EP级：Ra≤5μin （0.13μm）
安装方式：后座安装、面板安装
最大进口压力: 3500psi（241Bar）
出口压力: 1-150psi（详见选型表）
验证压力：工作压力的150％
爆破压力：工作压力的300％
|
规格 |
1/4” |
3/8” |
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CV值（流量系数） |
0.09（标准）/0.15（高流量HF） |
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内部容积 |
0.49 in3 (8 cm3 ) |
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供压效应：标准:0.25%, 高流量HF:0.75%
流量曲线：
端口配置：
连接选择：
VCR公头、VCR母头、对焊管接头
| 编码 | 进口压力 | 出口压力 | 两端接头 | A(mm) |
| PRLI1004M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"VCR公/母头 | 94 |
| PRLI3004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"VCR公/母头 | 94 |
| PRLI6004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"VCR公/母头 | 94 |
| PRLI10004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"VCR公/母头 | 94 |
| PRLI15004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"VCR公/母头 | 94 |
| PRLI1006M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"VCR公/母头 | 119 |
| PRLI3006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"VCR公/母头 | 119 |
| PRLI6006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"VCR公/母头 | 119 |
| PRLI10006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"VCR公/母头 | 119 |
| PRLI15006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"VCR公/母头 | 119 |
| PRLI1004W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"对焊 | 75 |
| PRLI3004W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"对焊 | 75 |
| PRLI6004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"对焊 | 75 |
| PRLI10004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"对焊 | 75 |
| PRLI15004W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"对焊 | 75 |
| PRLI1006W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"对焊 | 75 |
| PRLI3006W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"对焊 | 75 |
| PRLI6006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"对焊 | 75 |
| PRLI10006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"对焊 | 75 |
| PRLI15006W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"对焊 | 75 |
尺寸仅供参考, 实物可能会变动。
高流量款，请在编号后+HF；多孔端口，请在编码后加孔数+PW
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