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超纯中低流量单级减压阀 PRLI

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超纯中低流量单级减压阀 PRLI


PRLI系列超纯低流量单级减压阀采用单级膜片式硬密封设计,超低漏率,内部EP电解抛光处理,超低内表面粗糙度。高压输入(最高可达3500Psi),低压标准流量输出,输出压力稳定,适用于半导体行业使用的高纯度气体。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。


材料

阀体:SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22

阀座:PCTFE/PI

膜片、提升阀芯: Hastelloy C-22、SS316L


使用温度

PCTFE: -40~80°C

PI: -26~177℃


阀体内漏率:≤2.0x10-10 Pa・m3/sec He

阀体外漏率:≤2.0x10-9 Pa・m3/sec He

阀座泄漏率:≤4.0x10-8 Pa・m3/sec He


内表面粗糙度

BA级:Ra≤10μin(0.25μm)

EP级:Ra≤5μin (0.13μm)


安装方式:后座安装、面板安装

最大进口压力: 3500psi(241Bar)

出口压力: 1-150psi(详见选型表)

验证压力:工作压力的150%

爆破压力:工作压力的300%


规格

1/4”

3/8”

CV值(流量系数)

0.09(标准)/0.15(高流量HF)

内部容积

0.49 in3 (8 cm3 )


供压效应:标准:0.25%,  高流量HF:0.75%

流量曲线:


端口配置:

连接选择:
VCR公头、VCR母头、对焊管接头

编码 进口压力 出口压力 两端接头 A(mm)
PRLI1004M/F 真空-300psi (21bar) 1-10psi (0.07-0.7bar) 1/4"VCR公/母头 94
PRLI3004M/F 真空-3500psi (241bar) 1-30psi (0.07-2.0bar) 1/4"VCR公/母头 94
PRLI6004M/F 真空-3500psi (241bar) 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/4"VCR公/母头 94
PRLI10004M/F 真空-3500psi (241bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母头 94
PRLI15004M/F 真空-3500psi (241bar) 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母头 94
PRLI1006M/F 真空-300psi (21bar) 1-10psi (0.07-0.7bar) 3/8"VCR公/母头 119
PRLI3006M/F 真空-3500psi (241bar) 1-30psi (0.07-2.0bar) 3/8"VCR公/母头 119
PRLI6006M/F 真空-3500psi (241bar) 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/8"VCR公/母头 119
PRLI10006M/F 真空-3500psi (241bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母头 119
PRLI15006M/F 真空-3500psi (241bar) 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母头 119
PRLI1004W 真空-300psi (21bar) 1-10psi (0.07-0.7bar) 1/4"对焊 75
PRLI3004W 真空-3500psi (241bar) 1-30psi (0.07-2.0bar) 1/4"对焊 75
PRLI6004W 真空-3500psi (241bar) 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/4"对焊 75
PRLI10004W 真空-3500psi (241bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"对焊 75
PRLI15004W 真空-3500psi (241bar) 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"对焊 75
PRLI1006W 真空-300psi (21bar) 1-10psi (0.07-0.7bar) 3/8"对焊 75
PRLI3006W 真空-3500psi (241bar) 1-30psi (0.07-2.0bar) 3/8"对焊 75
PRLI6006W 真空-3500psi (241bar) 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/8"对焊 75
PRLI10006W 真空-3500psi (241bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"对焊 75
PRLI15006W 真空-3500psi (241bar) 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"对焊 75

尺寸仅供参考, 实物可能会变动。
高流量款,请在编号后+HF;多孔端口,请在编码后加孔数+PW

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