上海存简流体技术有限公司
超纯低压手动隔膜阀 DLM

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超纯低压手动隔膜阀 DLM

DLM系列超纯低压手动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体低压工况下的输送,产品在采用紧凑设计的同时,实现高CV值。在高标准的洁净室内生产,EP电解抛光处理内表面,粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试,从而保障应用安全性。

材料

阀体:SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

阀座:PCTFE/PFA/PI

膜片:钴基超级合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

最高使用压力:300psi(20.7Bar)

阀体内漏率:≤1.0x10-9 Pa・m3/sec He

阀体外漏率:≤1.0x10-9 Pa・m3/sec He


规格

1/4”

3/8”

1/2”

3/4”

CV值(流量系数)

0.27

0.27-0.7

0.7

1.7


内表面粗糙度

BA级:Ra≤10μin(0.25μm)

EP级:Ra≤5μin (0.13μm)

连接选择:VCR公头、VCR母头、卡套接头、对焊管接头

编码 两端接头 A(mm) B(mm) C(mm) D(mm) E(mm) F(mm) G(mm)
DLM04M 1/4"VCR公头 57 11 63 40 25 26 25.4
DLM06M 3/8"VCR公头 77 16 76 40 36 36 28
DLM08M 1/2"VCR公头 77 16 76 40 36 36 28
DLM12M 3/4"VCR公头 107 23 82.8 40 46 48 35
DLM04F 1/4"VCR母头 70.6 11 63 40 25 26 25.4
DLM06F 3/8"VCR母头 83 16 76 40 36 36 28
DLM08F 1/2"VCR母头 83 16 76 40 36 36 28
DLM12F 3/4"VCR母头 179.2 23 82.8 40 46 48 35
DLM04T 1/4"卡套接头 48 11 63 40 25 26 25.4
DLM06T 3/8"卡套接头 64 16 76 40 36 36 28
DLM08T 1/2"卡套接头 64 16 76 40 36 36 28
DLM12T 3/4"卡套接头 126 23 82.8 40 46 48 35
DLM04W 1/4"对焊 54 11 63 40 25 26 25.4
DLM06W 3/8"对焊 69 16 76 40 36 36 28
DLM08W 1/2"对焊 69 16 76 40 36 36 28
DLM12W 3/4"对焊 156 23 82.8 40 46 48 35
尺寸仅供参考, 实物可能会变动。

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