上海存简流体技术有限公司
超纯低流量单级减压阀 PRL

超纯低流量单级减压阀 PRL

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超纯低流量单级减压阀 PRL

PRL系列超纯低流量单级减压阀采用单级膜片式硬密封设计,超低漏率,内部EP电解抛光处理,超低内表面粗糙度。适用于半导体行业使用的高纯度气体,具有卓越的重复性,稳定性及灵敏度。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。


材料

阀体:SS316L、SS316L VAR

阀座:PCTFE/PI

膜片、提升阀芯: Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

阀体内漏率:≤2.0x10-10 Pa・m3/sec He

阀体外漏率:≤2.0x10-9 Pa・m3/sec He

阀座泄漏率:≤4.0x10-8 Pa・m3/sec He

内表面粗糙度

BA级:Ra≤10μin(0.25μm)

EP级:Ra≤5μin (0.13μm)

安装方式:后座安装、面板安装

最大进口压力: 300psi(20.7Bar)

出口压力:100mm Hg - 10psi

验证压力:工作压力的150%

爆破压力:工作压力的300%

规格

1/4”

3/8”“

CV值(流量系数)

0.05

内部容积

0.49 in3 (8 cm3 )

流量曲线:

端口配置:

连接选择:VCR公头、VCR母头、对焊管接头

编码 两端接头 A(mm)
PRL04M/F 1/4"VCR公/母头 94
PRL06M/F 3/8"VCR公/母头 119
PRL04W 1/4"对焊 75
PRL06W 3/8"对焊 75
尺寸仅供参考, 实物可能会变动。
多孔端口,请在编码后加孔数+PW

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