超纯低流量单级减压阀 PRL

超纯低流量单级减压阀 PRL

PRL系列超纯低流量单级减压阀采用单级膜片式硬密封设计，超低漏率，内部EP电解抛光处理，超低内表面粗糙度。适用于半导体行业使用的高纯度气体，具有卓越的重复性，稳定性及灵敏度。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。

材料

阀体：SS316L、SS316L VAR

阀座：PCTFE/PI

膜片、提升阀芯： Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

阀体内漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He

阀体外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He

阀座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He

内表面粗糙度

BA级：Ra≤10μin（0.25μm）

EP级：Ra≤5μin （0.13μm）

安装方式：后座安装、面板安装

最大进口压力: 300psi（20.7Bar）

出口压力:100mm Hg - 10psi

验证压力：工作压力的150％

爆破压力：工作压力的300％

流量曲线：

端口配置：

连接选择：VCR公头、VCR母头、对焊管接头