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超纯低压气动隔膜阀 DLP

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超纯低压气动隔膜阀 DLP


DLP系列超纯低压气动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体低压工况下的输送,产品在采用紧凑设计的同时,实现高CV值。在高标准的洁净室内生产,EP电解抛光处理内表面,粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试,从而保障应用安全性。


材料

阀体:SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

阀座:PCTFE/PFA/PI

膜片:钴基超级合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

最高使用压力:250psi(17.2bar)

阀体内漏率:≤1.0x10-9 Pa・m3/sec He

阀体外漏率:≤1.0x10-9 Pa・m3/sec He


规格

1/4”

3/8”

1/2”

3/4”

CV值(流量系数)

0.27

0.27-0.7

0.7

1.7


内表面粗糙度

BA级:Ra≤10μin(0.25μm)

EP级:Ra≤5μin (0.13μm)

连接选择:VCR公头、VCR母头、卡套接头、对焊管接头

气动操作选择:常闭(NC)、常开(NO)

编码 两端接头 A(mm) B(mm) C(mm) D(mm) E(mm) F(mm) G(mm)
常闭NC 常开NO
DLPC04M DLPO04M 1/4"VCR公头 57 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06M DLPO06M 3/8"VCR公头 77 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08M DLPO08M 1/2"VCR公头 77 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12M DLPO12M 3/4"VCR公头 107 23 148/143 85 46 48 35
DLPC04F DLPO04F 1/4"VCR母头 70.6 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06F DLPO06F 3/8"VCR母头 83 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08F DLPO08F 1/2"VCR母头 83 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12F DLPO12F 3/4"VCR母头 179.2 23 148/143 85 46 48 35
DLPC04T DLPO04T 1/4"卡套接头 48 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06T DLPO06T 3/8"卡套接头 64 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08T DLPO08T 1/2"卡套接头 64 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12T DLPO12T 3/4"卡套接头 126 23 148/143 85 46 48 35
DLPC04W DLPO04W 1/4"对焊 54 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06W DLPO06W 3/8"对焊 69 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08W DLPO08W 1/2"对焊 69 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12W DLPO12W 3/4"对焊 156 23 148/143 85 46 48 35
尺寸仅供参考, 实物可能会变动。

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