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同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样，因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样，因其超洁净、高精度、真空高压皆无泄漏及超长寿...
超纯低压气动隔膜阀 DLP
DLP系列超纯低压气动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体低压工况下的输送，产品在采用紧凑设计的同时，实现高CV值。在高标准的洁净室内生产，EP电解抛光处理内表面，粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测试，从而保障应用安全性。
材料
阀体：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
阀座：PCTFE/PFA/PI
膜片：钴基超级合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用温度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
最高使用压力：250psi（17.2bar）
阀体内漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
阀体外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
|
规格 |
1/4” |
3/8” |
1/2” |
3/4” |
|
CV值（流量系数） |
0.27 |
0.27-0.7 |
0.7 |
1.7 |
内表面粗糙度
BA级：Ra≤10μin（0.25μm）
EP级：Ra≤5μin （0.13μm）
连接选择：VCR公头、VCR母头、卡套接头、对焊管接头
气动操作选择：常闭（NC）、常开（NO）
尺寸仅供参考, 实物可能会变动。
编码
两端接头
A(mm)
B(mm)
C(mm)
D(mm)
E(mm)
F(mm)
G(mm)
常闭NC
常开NO
DLPC04M
DLPO04M
1/4"VCR公头
57
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06M
DLPO06M
3/8"VCR公头
77
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08M
DLPO08M
1/2"VCR公头
77
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12M
DLPO12M
3/4"VCR公头
107
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04F
DLPO04F
1/4"VCR母头
70.6
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06F
DLPO06F
3/8"VCR母头
83
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08F
DLPO08F
1/2"VCR母头
83
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12F
DLPO12F
3/4"VCR母头
179.2
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04T
DLPO04T
1/4"卡套接头
48
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06T
DLPO06T
3/8"卡套接头
64
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08T
DLPO08T
1/2"卡套接头
64
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12T
DLPO12T
3/4"卡套接头
126
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04W
DLPO04W
1/4"对焊
54
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06W
DLPO06W
3/8"对焊
69
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08W
DLPO08W
1/2"对焊
69
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12W
DLPO12W
3/4"对焊
156
23
148/143
85
46
48
35
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