PFA塔形波纹管在半导体设备废气/废液排放中的国产替代方案

PFA塔形波纹管 PCT 在半导体设备废气/废液排放中的国产替代方案

——对标 Penn & Nitto（潘力多 / Nitto）进口品牌

上海存简流体技术有限公司（CJan Fluid Technology Co., Ltd.）

一、行业背景：半导体设备对高柔性排放管路的严苛需求

在半导体制造设备中，例如匀胶显影机、去胶剥离机、刻蚀清洗设备等，后端普遍涉及废气与废液排放系统。

该类系统对管路提出极高要求：

输送介质具有强腐蚀性（酸碱/溶剂/工艺废液）

需满足高洁净等级，避免析出污染

设备内部空间紧凑，走管路径复杂

要求极小弯曲半径与长期柔性稳定性

因此，行业长期采用PFA塔形波纹管作为核心连接材料，用于实现“耐腐蚀 + 高柔性 + 高洁净”的综合需求。

二、原有方案：日本 Penn & Nitto（潘力多 / Nitto）PFA塔形波纹管

在行业早期应用中，客户普遍使用日本品牌：

Penn & Nitto（潘力多 / Nitto）PFA塔形波纹管

其主要优势包括：

成熟的波纹成型工艺

较好的柔性与弯曲性能

满足基础半导体耐化学要求

但在实际项目应用中，也逐渐暴露出一些问题：

1. 交期长（平均约1个月期货周期）

影响设备厂快速交付与备件响应速度。

2. 成本较高

进口品牌在批量项目中整体成本压力较大。

3. 供应链不稳定性

受国际物流与供应周期影响明显。

三、国产替代方案：上海存简 PFA塔形波纹管 PCT

针对上述问题，上海存简流体技术有限公司推出：

PFA塔形波纹管 PCT 系列（国产高性能替代方案）

用于对标 Penn & Nitto（潘力多 / Nitto）同类产品，并已通过客户实际测试验证。

四、产品核心优势（对标进口方案）

1. 高柔性塔形波纹结构设计

PCT系列采用优化塔形波纹结构设计，在保证结构强度的同时，

实现：

更小弯曲半径

更高空间适配能力

适用于设备内部复杂走管路径

长时间动态弯折不易疲劳

特别适用于半导体设备内部紧凑空间安装环境。

2. 高纯PFA材料体系

由上海存简流体技术有限公司选用高纯PFA材料制造：

优异耐酸碱与有机溶剂腐蚀能力

低析出、低污染特性

满足半导体高洁净流体标准

适用于废气/废液双系统排放

3. 对标 Penn & Nitto（潘力多 / Nitto）性能验证一致

在客户实际测试对比中：

柔性弯曲性能一致

耐化学腐蚀性能一致

长期使用稳定性一致

设备端适配性一致

实现对进口品牌Penn & Nitto（潘力多 / Nitto）PFA塔形波纹管的有效替代。

4. 成本与交期优势明显

相比进口品牌方案：

显著降低采购成本

无期货等待，交付周期更短

更适配设备厂批量化与国产供应链体系

提升项目交付效率

五、典型应用领域

上海存简 PFA塔形波纹管 PCT 广泛应用于：

半导体前段设备

匀胶显影机（Coater Developer）

去胶剥离机（Resist Stripper）

刻蚀与清洗系统

干法刻蚀设备（Dry Etch）

湿法清洗设备（Wet Cleaning）

废气 / 废液排放系统

酸碱废液排放管路

工艺废气排放系统

Scrubber前端连接系统

六、国产替代趋势：半导体供应链的关键方向

随着半导体设备国产化加速推进，

行业正在重点关注：

供应链安全与稳定性

成本可控与规模化交付

本地化技术支持能力

快速响应与交付周期

在此背景下，上海存简 PFA塔形波纹管 PCT 已成为进口替代的重要解决方案之一。

七、总结

上海存简流体技术有限公司推出的：PFA塔形波纹管 PCT

已在半导体废气与废液排放系统中实现对：

Penn & Nitto（潘力多 / Nitto）PFA塔形波纹管的性能对标与应用替代。

并在以下方面具备综合优势：

性能匹配进口标准

更优成本结构

更短交付周期

更稳定供应链体系

更适配国产半导体设备生态